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一體式真空機組——集成的真空解決方案

2025-03-21  來自: 廈門太星機電有限公司 瀏覽次數:172

一體式真空機組集成了主泵和前級泵,適用于高真空需求的工業應用,如半導體、光伏、化工等領域。了解其技術參數、產品特點及常見問題解答,選擇的真空解決方案。

一體式真空機組

本文詳細介紹一體式真空機組的技術參數、產品特點、應用領域及常見問題解答,特別聚焦于其集成設計和廣泛適用性,為高真空需求提供解決方案。

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一體式真空機組產品特點

集成設計:主泵與前級泵一體化設計,減少安裝空間,提高系統效率。

高真空性能:極限全壓力低至0.5Pa,滿足高真空需求。

節能環保:電機功率優化設計,降低能耗,符合節能環保要求。

易于維護:模塊化設計,便于維護和更換部件,減少停機時間。

廣泛適用性:適用于半導體、光伏、化工、醫藥等高真空領域。

一體式真空機組技術參數

一體式真空機組

應用領域

半導體制造:用于高真空環境下的晶圓加工和薄膜沉積。

光伏產業:在太陽能電池板制造過程中提供穩定的真空條件。

化工行業:用于高真空蒸餾、干燥和反應工藝。

醫藥行業:在藥品凍干和包裝過程中提供高真空環境。

科研領域:用于實驗室高真空實驗和設備測試。

應用案例

應用領域:半導體制造
使用設備:JZJLGB1200-5T一體式真空機組
工藝流程:在晶圓薄膜沉積過程中,JZJLGB1200-5T提供穩定的高真空環境,確保薄膜均勻性和產品質量。

設備安裝

詳細說明如何正確安裝一體式真空機組,包括安裝位置選擇、接口連接注意事項以及調試步驟,確保設備運行穩定。推薦由廠家提供安裝指導。

一體式真空機組常見問題解答

1一體式真空機組的抽氣速率是多少?
答:抽氣速率根據型號不同,分別為300 L/s、600 L/s和1200 L/s。

2一體式真空機組的極限真空度是多少?
答:極限全壓力為0.5Pa,適用于高真空需求。

3一體式真空機組是否適用于高腐蝕性環境?
答:需根據具體型號和材料選擇,部分型號經過特殊處理可適應高腐蝕性環境。

4一體式真空機組的噪音水平如何?
答:采用靜音設計,噪音水平低,適合對噪音敏感的環境。

5一體式真空機組的維護是否方便?
答:模塊化設計,便于維護和更換部件,減少停機時間。

6一體式真空機組是否節能?
答:電機功率優化設計,能耗低,符合節能環保要求。

7一體式真空機組的冷卻水需求是多少?
答:冷卻水壓力為0.2~0.35MPa,流量為10~15L/min,溫度為≤40℃。

8一體式真空機組的氣體系統參數是多少?
答:氣體系統壓力為0.05~0.06MPa,流量為20~40L/min。

9一體式真空機組是否適合半導體制造?
答:是的,適用于半導體制造中的高真空工藝。

10如何評估一體式真空機組的總擁有成本?
答:綜合考慮設備價格、維護成本、能耗和使用壽命,推薦選擇可靠廠家提供的產品。


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一體式真空機組

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