一體式真空機組——集成的真空解決方案
2025-03-21 來自: 廈門太星機電有限公司 瀏覽次數:172
一體式真空機組集成了主泵和前級泵，適用于高真空需求的工業應用，如半導體、光伏、化工等領域。了解其技術參數、產品特點及常見問題解答，選擇的真空解決方案。
本文詳細介紹一體式真空機組的技術參數、產品特點、應用領域及常見問題解答，特別聚焦于其集成設計和廣泛適用性，為高真空需求提供解決方案。
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一體式真空機組產品特點
集成設計：主泵與前級泵一體化設計，減少安裝空間，提高系統效率。
高真空性能：極限全壓力低至0.5Pa，滿足高真空需求。
節能環保：電機功率優化設計，降低能耗，符合節能環保要求。
易于維護：模塊化設計，便于維護和更換部件，減少停機時間。
廣泛適用性：適用于半導體、光伏、化工、醫藥等高真空領域。
一體式真空機組技術參數
應用領域
半導體制造：用于高真空環境下的晶圓加工和薄膜沉積。
光伏產業：在太陽能電池板制造過程中提供穩定的真空條件。
化工行業：用于高真空蒸餾、干燥和反應工藝。
醫藥行業：在藥品凍干和包裝過程中提供高真空環境。
科研領域：用于實驗室高真空實驗和設備測試。
應用案例
應用領域：半導體制造
使用設備：JZJLGB1200-5T一體式真空機組
工藝流程：在晶圓薄膜沉積過程中，JZJLGB1200-5T提供穩定的高真空環境，確保薄膜均勻性和產品質量。
設備安裝
詳細說明如何正確安裝一體式真空機組，包括安裝位置選擇、接口連接注意事項以及調試步驟，確保設備運行穩定。推薦由廠家提供安裝指導。
一體式真空機組常見問題解答
1、一體式真空機組的抽氣速率是多少？
答：抽氣速率根據型號不同，分別為300 L/s、600 L/s和1200 L/s。
2、一體式真空機組的極限真空度是多少？
答：極限全壓力為0.5Pa，適用于高真空需求。
3、一體式真空機組是否適用于高腐蝕性環境？
答：需根據具體型號和材料選擇，部分型號經過特殊處理可適應高腐蝕性環境。
4、一體式真空機組的噪音水平如何？
答：采用靜音設計，噪音水平低，適合對噪音敏感的環境。
5、一體式真空機組的維護是否方便？
答：模塊化設計，便于維護和更換部件，減少停機時間。
6、一體式真空機組是否節能？
答：電機功率優化設計，能耗低，符合節能環保要求。
7、一體式真空機組的冷卻水需求是多少？
答：冷卻水壓力為0.2~0.35MPa，流量為10~15L/min，溫度為≤40℃。
8、一體式真空機組的氣體系統參數是多少？
答：氣體系統壓力為0.05~0.06MPa，流量為20~40L/min。
9、一體式真空機組是否適合半導體制造？
答：是的，適用于半導體制造中的高真空工藝。
10、如何評估一體式真空機組的總擁有成本？
答：綜合考慮設備價格、維護成本、能耗和使用壽命，推薦選擇可靠廠家提供的產品。
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