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高精度隔膜電容真空計(jì)RBM350:助力高性能應(yīng)用的理想選擇

2025-03-10  來(lái)自: 廈門太星機(jī)電有限公司 瀏覽次數(shù):183

 在現(xiàn)代工業(yè)和科研領(lǐng)域,高精度測(cè)量設(shè)備的需求日益增長(zhǎng)。隔膜電容真空計(jì)RBM350憑借其的性能和廣泛的適用性,已成為半導(dǎo)體制造科研實(shí)驗(yàn)、醫(yī)療設(shè)備及航空航天等領(lǐng)域的關(guān)鍵設(shè)備。本文將為您詳細(xì)介紹RBM350的技術(shù)特點(diǎn)、產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)及其在實(shí)際應(yīng)用中的表現(xiàn)。

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產(chǎn)品亮點(diǎn):高精度與快結(jié)合

RBM350以其高精度、快速穩(wěn)定和快速恢復(fù)的特性脫穎而出,主要優(yōu)勢(shì)包括:

高精度測(cè)量:精度等級(jí)達(dá)0.25級(jí),讀取誤差低至0.2%(≥133Pa)和0.5%(≤133Pa),確保測(cè)量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。

快速穩(wěn)定與恢復(fù):電源接通后迅速穩(wěn)定,暴露于大氣壓力后也能快速恢復(fù),顯著提升工作效率。

很好的穩(wěn)定性:長(zhǎng)期信號(hào)穩(wěn)定性優(yōu)異,零漂移僅為0.005%F.S./℃,全尺度漂移為0.04%F.S./℃,確保數(shù)據(jù)可靠性。

溫度補(bǔ)償功能:內(nèi)置溫度補(bǔ)償,有效降低環(huán)境溫度對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。

耐腐蝕設(shè)計(jì):采用耐腐蝕陶瓷傳感器,適用于復(fù)雜環(huán)境,延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命。

操作便捷:支持一鍵式零調(diào)節(jié)和全數(shù)字鍵校準(zhǔn),用戶可輕松調(diào)整參數(shù)。

廣泛電源適配:電源電壓范圍為+14VDC~30VDC,適應(yīng)多種電源環(huán)境。

隔膜電容真空計(jì)RBM350技術(shù)規(guī)范

 隔膜電容真空計(jì)RBM350

隔膜電容真空計(jì)RBM350

應(yīng)用案例:助力半導(dǎo)體制造效率提升

某半導(dǎo)體制造企業(yè)在高端芯片生產(chǎn)過(guò)程中引入RBM350,解決了原有設(shè)備精度不足的問(wèn)題。在光刻、蝕刻等關(guān)鍵工藝中,RBM350的高精度測(cè)量和快速響應(yīng)特性確保了真空環(huán)境的實(shí)時(shí)監(jiān)控,避免了真空波動(dòng)導(dǎo)致的光刻膠異常曝光。同時(shí),其耐腐蝕陶瓷傳感器在化學(xué)氣相沉積(CVD)等復(fù)雜環(huán)境中表現(xiàn)穩(wěn)定,顯著提升了芯片產(chǎn)量和生產(chǎn)效率。

廣泛應(yīng)用領(lǐng)域

科研領(lǐng)域:用于物理、化學(xué)、材料科學(xué)等實(shí)驗(yàn)中的真空度精確測(cè)量,為研究提供可靠數(shù)據(jù)支持。

工業(yè)生產(chǎn):在半導(dǎo)體制造、真空涂層、真空熱處理等工藝中,確保產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。

醫(yī)療領(lǐng)域:用于真空泵、呼吸機(jī)等設(shè)備的壓力監(jiān)測(cè),保障設(shè)備正常運(yùn)行和患者安全。

航空航天:在航天器制造與測(cè)試中,模擬空間環(huán)境并提供精確的真空度數(shù)據(jù)支持。

常見問(wèn)題解答

如何校準(zhǔn)RBM350?
RBM350支持全數(shù)字鍵校準(zhǔn),用戶可根據(jù)操作手冊(cè)輕松完成參數(shù)調(diào)整。

溫度是否影響測(cè)量精度?
RBM350內(nèi)置溫度補(bǔ)償功能,有效降低溫度對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。

傳感器如何防污染?
其結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)可有效阻止外部雜質(zhì)進(jìn)入,延長(zhǎng)傳感器壽命。

暴露于大氣壓力后恢復(fù)時(shí)間?
RBM350具備快速恢復(fù)能力,可滿足大多數(shù)應(yīng)用場(chǎng)景的需求。

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