COBRA DS 0600 E干式螺桿真空泵
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摘要
COBRA DS 0600 E 干式螺桿真空泵是你的理想之選!? 這款真空泵運用螺桿設計,運行品質。其抽速高達 600m3/h ,能快速構建穩定真空環境,提升工作效率。極限真空可達 0.01mbar ,可滿足極為嚴苛的真空要求。? 它采用間接水冷方式,能控制泵體溫度,適應各種工藝變化。而且,間接水冷系統穩定可靠,無需頻繁維護,有效降低了使用成本。在結構設計上,直接安裝的罐裝電機使整體布局緊湊,占地空間小,便于融入各類設備系統。? 不僅如此,COBRA DS 0600 E 干式螺桿真空泵適用范圍極為廣泛。在半導體制造領域,助力芯片生產、化學氣相沉積等精密工藝;在平板顯示器生產中,滿足等離子增強化學氣相沉積、有機發光二極管制造等環節的真空需求;還能用于鋰離子電池生產,保障電池制造過程的穩定性。同時,在生物沼氣處理、壓力擺動吸附提純等場景中,也有出色表現 。? 選擇 COBRA DS 0600 E 干式螺桿真空泵,就是為你的業務發展增添強勁動力!
產品介紹
COBRA DS 0600 E干式螺桿真空泵
技術規格
ISO 50 HzISO 60 Hz
尺寸圖
COBRA DS 0600 E
抽速
空氣溫度為 20°C 時, 公差:± 10%
市場和應用
半導體應用
金屬和高 K 蝕刻
LPCVD / 擴散
ALD
PECVD
Si Poly etch
配件
· 適用于嚴苛應用的 Tantal 涂層
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