電容薄膜真空計
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摘要
電容薄膜真空計基于彈性薄膜在壓差作用下引發電容變化的原理，通過檢測電容變化并轉換為標準信號輸出，實現高精度真空測量。該產品具備高精度、高穩定性、耐腐蝕、抗干擾強、響應快速等顯著特點，測量與氣體成分無關，且擁有抗過載能力強、受環境影響小等優勢。其類型多樣，接口與輸出豐富，可快速安裝并實現智能化控制。產品廣泛應用于半導體、光伏、真空鍍膜等眾多行業，在關鍵工藝控制中發揮重要作用。隨著真空技術發展，未來電容薄膜真空計將朝著更高精度、更寬量程、智能化、小型化與集成化方向持續演進，以滿足各領域不斷升級的真空測量需求。
產品介紹
型號：CX-CFG500 類型：薄膜電容真空計
適用氣體：不限氣體種類 反應時間：10ms
測量范圍：10pa ~1.0×10+5 Pa
供電：24 ±5 VDC /0.5A ；整機*大功耗1.0W
防護等級：IP40，IEC529
重量：250g 接口：標準 KF16 法蘭
接觸真空的材料：SS304, SS316L, Kovar 4J50, 燈絲, 饋通玻璃
發展趨勢
隨著真空應用技術的不斷發展，對電容薄膜真空計的要求也越來越高，未來發展趨勢包括進一步提高測量精度和穩定性、拓展量程范圍、增強智能化功能（如具備自動校準、故障診斷、數據存儲和通信等功能）以及小型化、集成化等，以更好地滿足不同領域的應用需求。
產品特點
高精度測量：±0.25%讀數對測量環境氣體不敏感
抗腐蝕、抗粉塵、抗氧化模擬電壓輸出：0.0～+10.0VDC
RS485 Modbus-RTU數字通訊
2路可設置控制開關
3鍵智能操作
5位LED數字顯示
產品參數
參數 數值
測量范圍 10pa ~ 1.0×10+5 Pa
測量精度 ±0.25 % 讀數
測量重復性 ±0. 1% 全量程
測量分辨率 0.002% 全量程
長期穩定性 每年變化不大于滿量程 ±0.5 % （不含環境變化因素）
溫度補償范圍 -20º C ~ +80º C, ±0.01 %FS/ º C
工作環境 -10º C ~ +50º C； 5 ~ 85 %,不結露
供電電源 +24V（±20%）/0.5A（適用+5.0VDC至+32VDC）
電接口插座 D-Sub 15 Pin，公
真空腔體 接口：DN16ISO-KF（其他可選）；*大承壓：1.5×10+5 Pa
重量 250g （DN16ISO-KF法蘭）
產品尺寸
產品優勢
由于陶瓷材料的形變恢復無遲滯使得陶瓷薄膜電容規獲得高穩定、高精度。
由于氧化鋁陶瓷與氟系密封件的穩定性使得陶瓷薄膜電容規具有抗腐蝕、抗氧化能力。
由于采用機械形變傳感真空壓強使得陶瓷薄膜電容規對被測量氣體不敏感特點。
應用場景
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